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氦質譜檢漏儀

A500干泵氦質譜檢漏儀

A500干泵氦質譜檢漏儀

詳細介紹

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安徽歌博科技A500型干泵氦質譜檢漏儀,靈敏度高、操作便捷、低維護,使您放心得到準確可靠的測試結果。

產品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜,光伏等行業。


功能描述

支持正壓檢漏,負壓檢漏

自動跟蹤本底,提供快速可靠的測量結果

優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦

支持氮氣破空,不受環境氦氣干擾,快速降低本底

機器卓越的性能支持7*24小時長時間在線測試

機器卓越的性能支持幾秒一次的高頻率測試

配有檢漏口精細過濾器,過濾細微雜質,確保機器不受雜質影響和損傷

雙銥絲離子源,有效的系統設計,防大氣沖擊

支持定制檢漏工作臺,更加便捷使用


技術參數

最小可檢漏率(負壓模式)            5×10-13Pa?m3/s 

最小可檢漏率(正壓模式)            5×10-9Pa?m3/s

檢漏口壓強           粗檢        1500Pa

                  中檢        200Pa

                  精檢        40Pa

響應時間                       <0.5s

啟動時間                       ≤2min

前級油泵抽速                     14.5m3/h(4L/s)  

外形尺寸(W×D×H)                845×465×988

重量                          75Kg



尺寸圖

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常見泄漏率

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檢漏方法示意圖

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